關鍵尺寸|CD [關鍵尺寸 (CD)]:關鍵尺寸（CD）晶片上的物理尺寸特徵被稱。,砂穴

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重要外形尺寸（Critical Dimension, 卡帶）便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語，主要就指稱的的關鍵尺寸在發微

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